当晚,就在路阳所在的小区,一间临时准备的会议室内,芯片小组召开了一次特殊会议。
路阳还是第一次见到这个所谓的芯片小组成员,商务部部长程春贤、副部长郎延,工信部部长郝顺富,申城微电子廖锡昌院士,周怀义以及路阳5人。
程春贤率先说道,“这次是廖老提议召开的临时会议,主要针对路阳从ASML带回来的资料,在会议开始之前,我先说几点,第一,经上层讨论决定,由我们5人组成华国芯片小组,我担任组长。第二,这次能将资料带回,多亏了3位的配合,辛苦了。第三,关于如何建立光刻机制造厂,今天商量出个大致方向。”
程春贤刚说完,廖老便迫不及待的说道:“小路的资料已整理完毕,确实是ASML新研发的EUV光刻机制造技术。”
众人脸上不由浮现喜色,郎延更是大笑道,“小路辛苦了,不枉费了这么大的力量,部里面对的压力也不小,这次一行186人已经算是华国半导体芯片代表,基本覆盖了整个产业的上、中、下游。”
确认资料的真实性,路阳心中大定,这10来天他只睡了两个晚上,已经是他体能的极限了,现在看来,这苦没白吃。
“不过,现在出现了新的问题,研究小组已经统计出来,这其中的技术有75%是国外专利,剩下25%我国有对应成熟技术替代。”廖锡昌的声音还是那么洪亮有力。
刚刚确认资料的欣喜,被这句话打到谷底,特别是路阳,他之前就预料到在专利上可能会出问题,没想到会有那么高的比例,就算是秘密建造出光刻机,国外一定会根据产品倒推出生产的光刻机技术。
就算自研替代技术比例提到70%,剩下30%是国外核心技术,最后也会裁定侵权,这种认定机制相当复杂,比如镜头组可以算是一个单独产品,哪怕一台光刻机国产化90%,剩下10%是镜头组,也会被认为镜头组侵权。
郎延眉头紧皱,“专家组这边有什么应对措施。”
“两个方向:一是把设备先做出来,然后逐步用国产技术替代。二是再针对这份资料,先实现自主化再生产设备。”
廖锡昌说道,选择哪种方案,专家组也没统一意见。
“我个人倾向于前者,科研必须做了才能验证,理论上的替代进步太慢。”
程春贤沉思半晌,忽然抬头看向路阳,“小路,你觉得呢?”
路阳正低头苦苦思索对策,忽听到自己被点名,“啊?”
“问你对专家组的策略,有什么看法呢?”周怀义拍了下路阳。
“我也在考虑对策,周哥还记得上次在苏硅做流片时的情况吗?”
周怀义跟廖锡昌两人都在场,“记得啊,最后还是你找到了解决的办法,廖老还夸你有研究天赋。”
路阳心中已有对策,只是不知道如何表述,有些东西涉及系统不好解释。
第一,模拟国产EUV光刻机生产线,欺骗系统,有可能点亮国产EUV光刻机技术,但这中间系统是如何判断的,他并不清楚。