“第三步，工件台移动及测控系统也是在申城微电子那边完成，完成以上三步后实现EUV光刻机的组装，开启测试。”

廖老接着开始介绍整个流程中最为艰难的部分，13.5纳米极紫外光制造。

它需要用20kw的激光，不断轰击从空中滴落的液态锡珠，这些金属液滴的直径只有20微米，大概相当于头发丝直径的1/3，并且液滴在真空环境中是处于自由下落的状态。

同一个液滴需要在极短时间内被连续轰击两次，第一次冲击是将它压平，第二次冲击是将它汽化，使之成为发光的等离子体，这样才能产生足够强度的极紫外光。

更重要的是，轰击所产生的光转瞬即逝，因此需要每秒钟轰击约五万次，才能保证光的持续性。

持续性光源通过反射镜多次反射，祛除光干扰，然后通过镜头组实现均匀化，最终才形成可以用于雕刻的极紫外光。

路阳听得头皮发麻，每秒5万次的击打，还是在真空状态下，哪怕知道原理，拥有技术，这得多少次实验才能成功啊。

廖老的声音继续回荡在工作间中，

“大家要有心里准备，不可能我们第一次生产的镜片就能完成任务，这中间镜片与镜头组的调试尤为麻烦，需要申城微电子、长春光机所两边跑，而光源部分，20KW这是个最低值，低于这个数值，最后获得的极紫外光无法使用，所以大连光源这边还得继续增大光源的功率。”

大连光源5人一听这话，心中苦涩，现在20KW的功率，他们还能勉强达到，稳定性都还不够，要提升谈何容易。

23所的柴文政问道：“我们为什么不把申城那边组装好的设备运到光机所来测试呢？”

白学礼苦笑道：“我也想啊，但长春光机所的整体硬件条件不够，重建需要花费的时间太长，我们仅仅是家光学研究所而已，完全达不到光刻机的环境要求。”

“好了，不要再纠结这个问题，这是目前的最优解，现在我们要突破的是别人几十年甚至上百年才完成的技术，可以说是已经站在巨人肩上乘凉了。”

专家组再次对这三大步骤展开谈论，分配任务，特别是大连光源的同事，刚开始时，还觉得他们是目前所有环节中最为把稳的一环，结果也没那么保险。

三小时后，工作人员终于对镜片展开了最终测试，看到结果，白学礼一直紧绷的情绪终于缓和下来。

“各位，这第一步还不错，起了个好头，说明我们的加工线设计是正确的，这第一块加工完成的镜片，各项指标都远超我们之前的产品，路总，好消息是DUV光刻机的镜片，以现在的这条加工线，应该是能满足了。”

这是一剂强心针，所有人对下午的正式加工结果信心大增。

专家小组背后是各家的鼎力支持，这条加工线能在不到一个月时间完成，背后所付出的资金、资源都是不可估量的。

“看来90纳米DUV光刻机的生产线是稳了，下一步逐步升级到45纳米的DUV光刻机也该提上日程了。”

路阳心想，这下总算是出新手村了。