华芯九天是华大九天与华芯联合去年成立的新公司，位于申城张江，距离中芯也就几分钟车程。

刘永锐对路阳的到来非常高兴，“老弟你现在是神龙见首不见尾啊？”

在完成EDA软件的补全后，刘永锐现在一心扑在华芯九天这边，尽管占股只占40%，但是他知道这边对于补全半导体产业链的重要性，再加上华大九天去年的形势一片大好，他管得也就少了。

“锐哥您才是神龙，我现在才体会到痛苦啊，简直就是身不由己！”路阳苦笑道，刘永锐是他极为认可的大哥，在对方身上学到了不少东西。

刘永锐仔细打量着路阳，“瘦了，也变壮了！来，尝尝，这是从老何那里搞来的好茶。”

他跟海思何洪年是多年同学，自从刘永锐把重心放到申城来后，两人没少聚，“这几个月确实辛苦了，外面都是你的传说，为你骄傲啊，有人托关系居然都找到我了。”

“怎么？”路阳好奇问道。

“还不是你嘴巴大，现在外界都知道我是你锐哥，今年局势不妙啊，各家都在抢芯片，有实力的就想整台光刻机，这不就找到我头上了吗？”

两人闲聊了一会，路阳便问道，“现在进度如何了？”

“你小子这是来视察工作来了，能忍到现在才问算是独一份了，外界都在传你是钢铁直男，万亿总裁竟然……，哈哈，这些报道我每次看到都能笑半天。”

刘永锐打趣到，“好了，说正事，90纳米精度的光掩膜版已搞定，100%国产化，但是，你忽然把精度提高到了28纳米，我听到这消息时，既高兴又是痛苦，还以为搞定90纳米可以休息下，结果忽然连升几级，这咋办啰，看来以后就是要为你路总打工的命了。”

路阳见刘永锐心情不错，“锐哥，你就别打趣了，应该是有好消息的吧。”

“好什么消息，过年都没得休息，前两天才搞定45纳米的光掩膜版，但是母版还是进口的，这就是现在的进度，我可没说假话啊。”

光掩膜版的主要差距在石英基底的高精度掩膜版上面，基本完全依赖岛国跟泡菜国进口，国产化率为零。

主要原因就是工艺水平和制程不达标，从原材料和设备的角度出发，包括菲利华的石英版还有部分光刻胶，确实可以和国外的先进水平媲美，设备方面国外在这块也是全面开发的。

制程水平的差距，核心就在掩膜版母版上，因为在掩膜版的制程中，曝光，显影，刻蚀的首要第一块就是掩膜版母版，母版上的缺陷决定了掩膜版的良率和制程水平，母版上的缺陷完美复制或扩大到掩膜版上，因此一块完美零缺陷的母版尤其重要。

“掩膜版制程基本就是曝光、显影、刻蚀，每个过程中都会产生缺陷，制程控制就是过程控制，越是细微的缺陷，去除率越低，越难控制，干扰因素也多。其次相同的原材料和设备，不同的工艺水平会导致设备或材料的性能无法发挥出来。”

刘永锐再次当起了老师，给路阳介绍道光掩膜版的工艺。

“所以说，我们现在的光掩膜版工艺水平仅仅到45纳米上，接下来要攻破的就是28纳米，14纳米，7纳米，至少还有3个级别。”路阳总结刘永锐的话。

“是这个理，14纳米与7纳米，如果要用EUV生产的话，光掩膜版也得匹配设计，技术难度更大。”刘永锐补充道。