路阳的话让唐跃重新看到了希望，而且对方的态度跟以前见的那些投资人完全不同。

“SSMB只是一个通用型光源系统，利用微聚束原理，理论上确实可以生产光刻机所需的短波光源，但是从光源到光刻，这中间的跨度非常大，也并非我们的研究方向。”

路阳立刻解释道，“唐教授，您的意思我明白，通用就是各种类型的光都能产生，但是我觉得，我们只有先把其中一类落地应用了，才能支撑起整个研发，而半导体行业就是这个机会，首先市场足够大，其次它对其他行业的反哺非常快。”

“至于您所担心的研究方向并不是问题，我们两边可以联合起来，光刻机不就是集成了光学、化学、物理学等众多学科吗？”

清大众人没想到路阳对SSMB的理解如此深刻，唐跃上眼明亮起来，“看来祁教授给路总介绍得非常详细啊，确实如此，前些年我们的研发部目的就是如此，去年华芯出现后，我才发现SSMB也能产生极紫外光，但是他跟光刻机的光源系统却完全不同。”

谭长茂补充道，“正因为不同，SSMB一旦在光刻机方向实现应用，那就是一种全新的体系，完全不用考虑专利问题，世界首创。”

路阳心中对谭长茂的好感淡了下去，老是打断唐跃的发言。

“谭副校长不用担心，我明白的，这样说吧，华芯对SSMB非常感兴趣，如果清大跟唐教授这边愿意，其他的问题都交给我们解决，投资人那边我们去谈。”

说完直接看向唐跃，“唐教授，有什么要求您尽管提，投资人那边取了个不错的名字，SSMB-EUV是我们的最终方向，不过我们造的并不是光刻机，而是光刻厂，只要能生产芯片，是什么又何妨呢？”

吴成顺这下完全懂了，华芯这定义非常好啊，“老唐，路总话都这么说了，你就尽管提条件。”

唐跃这才恢复正常，“感谢路总对SSMB的看好，这两个月我们的重点确实是在这个方向，理论验证已经结束，不过投资上可能跟所有人想的都不同，要想实现13.5纳米极紫外光的稳定输出，需要建设如粒子对撞机这般大的圆环，这其中的建设难度，没有上百亿的资金是不可能的，而且时间上可能会是3年还要往上走。”

粒子对撞机？

两位校长与吴成顺都倒吸口凉气，百亿以上的投资，这已经是国家重点项目级别了，而且还只是光源。

难怪老唐最近总是愁眉苦脸的。

“唐教授放心，芯片是人类科技的大成，百亿级别都是您低估了，华芯晶圆厂的总投资就超过5000亿，如果我们花500亿就能达到晶圆厂的效果，大家想想，这对华国，对世界是怎样一种冲击力。”

搞半导体都这么豪的吗？

路阳这么一说，众人竟然真的觉得很有道理。

唐跃试着问道，“路总，华芯真打算花这么大的资金来做这件事情？”

“唐教授，两位校长，这不是一个普通的项目，也不是唐教授一个团队的事，要想做到这一切，除了资金，还有大量的人才，因为没有任何案例可参考，对项目的难度必须有清晰的认知，不过，华芯愿意带这个头，这事我跟工信部与科技部两位部长都汇报过，国家是支持的。”

两位助理已经完全懵逼，开始跟不上思路了，500亿级别的投资，国家两部委支持，他们何德何能啊，这个路总才是真正的画饼侠吧。

应若涵这时说话了：“各位不用担心资方那边，华芯会处理，但是我们也有我们的要求。”