说到这里,他又用笔指着另一个图标说道:“到了这一步,就必须在氩气环境内进行下一步了,因此,我们必须把去油、清洗和烘干这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶棒暴露在空气中而被氧化。”
“等等,郭部长,清洗和烘干这两个步骤,光刻机、离子注入机和CVD机都要用到,而且你还忘了,回火这个步骤,单硅晶棒在切薄片的时候,因温度过高的原因会变形,因此需要回火。”范学东毕竟是专业人士,比他们更了解整个制程工艺。因此出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒!范先生。”郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。
“没什么,我们不是一起解决问题嘛!”
范学东摇着手,客气道。
“好!既然是这样,那我们就把烘干炉和回火炉集合成一体,只需要加一个温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了一下桌子说出了自已的想法。
说完他又皱起了眉头,然后像自言自语地说道:“不过这样一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”
“我想的也差不多,整套系统绝不简单,我们要把里里外外都考虑清楚了,再开始设计,尽量减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最高的,还超过了他以前的顶头上司郭东,因此他没有顾虑的发表了自已的意见。
“嗯!卢总说得不错,那我们休会一个小时,大家都思考思考。”郭东作为主人,作了决定。
郭东说完,大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考,在心里描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。
“咚咚”过了一个小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。
他见大家都注意到了自已就开始说道:“由于人数较多,就不一个个发言了,时间不允许。我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”
他没等大家回答,组织了思路就开始说了:“我把去油、清洗、烘干和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘干室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空吸盘,因为硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空吸盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在一起,否则会有互相沾染的危险。最重要的是上完胶要有一个烘干的步骤,这里也要用机械臂直接输送不用设轨道。因此必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。
又因为各个步骤都要检测,因此我们可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。
我设想的大体系统架构就是这样,具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说一下。”
说完他就坐到。,将位置让了出来。
“咳咳”卢汝成见其它人都不说,就咳嗽两声,开始发言:“我认为郭部长的设想已经非常完善了,我只补充一条,还需要一个单独的光刻胶腐蚀步骤。因为光刻机会进行多次光刻,那么就要进行多次的上胶去胶,因此,有必要设计一个单独的去胶室。”
说完这些他就不再说了,把时间让给别人了。其实到了这一步已经非常完善了,大家没什么好补充的了。因此一下子冷场了。
郭东见大家不再发言,就又站起来说:“既然大家不再补充啦!那我们就散会吧!吃饭时间到了,我们公司食堂的饭菜很好的,大家都知道的。哦!瞧我,范先生是客人不知道。罪过罪过!”
说完他调皮的对范学东双手作揖。
“哈哈哈哈!”大家又开心的大笑起来。
一个有能力的人,总是会想办法调节气氛。而郭东就是这样的人。
未完待续……