光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已，核心的光掩膜延用一代，一天就能拿下。

但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

比如液态金属锡低落的时间，激光发射的时间，命中率等等。

图纸可以把硬件做出来，但是这些精准的数据，需要将各种公式和逻辑放入系统之中，让系统来操控。

所以，给光源的部分设计一个系统才是重点。

如果滴落的液态金属锡过大，那么激光的强度就会衰弱。

就好比扬起一把沙子之后在用光照射，那么沙子的浓度越高，光就越难以穿透。

如此一来，控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

取到一个最恰当的值，录入系统，让机器来操作。

同样的还有命中率。

极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡，而且是两次！

当液态金属锡变成雾状的离子态，必须在极短时间之内，完成第二次深紫外光的命中。

穿过离子态金属锡的光，才能是极紫外光。

如果命中率低，第一次没命中，或者第二次没有命中，都会错过最佳时间，导致极紫外光无法产生。

这样下来，命中率必须达到100%！

设计这些东西极其耗费时间。

一周的高强度工作状态下，才算是搞定了这个巨大核心。

而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

有何毅伟坐镇，当陆晨加入工作的时候，移动工件台的一些难点已经克服。

三大核心用了半个多月才终于完成。

...............

光刻机的内部硬件已经组装完毕。

又过了几天，光刻机已经成型。

他们开始了第一次芯片制造的测试。

何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

陆晨为了观察光刻机的一些运作情况，穿了防尘服，进入净室。

看到陆晨进来，几个工作人员纷纷打招呼。

陆晨点点头，来到了光刻机的旁边。

这台光刻机经过他的设计之后，体积远远没有国外的庞大。

国外的光刻机得有一个集装箱的大小，但是陆晨设计的这一款，只有一半的体积。

在经过他的检测之后，光刻机的状态全部确认完毕。

给总控台比了个手势，净室里的扬声器传来了声音。

“第1次光刻实验，启动！”

总控台一声令下，涂胶后的晶圆被机械臂吸起，放到了光刻机的履带。

随着履带的转动，晶圆进入了机器。

“光源放光！”

指令还没说完，光刻机的屏幕突然一黑。

“怎么回事？”

主控台传来疑问。

“报告，液态金属锡未被击中，滴落面板导致短路！”

实验显然以失败告终！

陆晨眉头皱了起来。

没有命中，这说明光源的部分还是出了问题。

需要再次调校才能开始第二次试验。

大家并没有气馁。

因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的！

停机修整之后。

很快，第二次实验开始。